世界大百科事典(旧版)内のパターン形成の言及
【集積回路】より
…イオンを阻止するのに必要な厚さは,膜物質の種類と注入イオンの種類により,加速エネルギーの関数として求められている。後述するパターン形成の手法により,イオン注入をしたい部分の膜を除去してイオン注入を行う。パターン形成した表面の膜は,イオン注入に対するマスクとなる。…
※「パターン形成」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
…イオンを阻止するのに必要な厚さは,膜物質の種類と注入イオンの種類により,加速エネルギーの関数として求められている。後述するパターン形成の手法により,イオン注入をしたい部分の膜を除去してイオン注入を行う。パターン形成した表面の膜は,イオン注入に対するマスクとなる。…
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出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
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