世界大百科事典（旧版）内のパターン形成の言及
【集積回路】より
…イオンを阻止するのに必要な厚さは，膜物質の種類と注入イオンの種類により，加速エネルギーの関数として求められている。後述するパターン形成の手法により，イオン注入をしたい部分の膜を除去してイオン注入を行う。パターン形成した表面の膜は，イオン注入に対するマスクとなる。…
※「パターン形成」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」
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