パターン形成（読み）ぱたーんけいせい

世界大百科事典（旧版）内のパターン形成の言及

【集積回路】より

…イオンを阻止するのに必要な厚さは，膜物質の種類と注入イオンの種類により，加速エネルギーの関数として求められている。後述するパターン形成の手法により，イオン注入をしたい部分の膜を除去してイオン注入を行う。パターン形成した表面の膜は，イオン注入に対するマスクとなる。…

※「パターン形成」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」