世界大百科事典(旧版)内のベーン真空ポンプの言及
【真空ポンプ】より
…到達圧力は1段で100Torr,2段で20Torrくらいで,構造が簡単なため,遠心ポンプの呼び水用,蒸気暖房のドレーン回収用,化学工業用,医療用などに使用される。 このほか小型用として,ベーン圧縮機を使用するベーン真空ポンプがあるが,到達圧力は1段で50Torrくらいである。(3)ターボ形真空ポンプ これには遠心式真空ポンプなどがあり,比較的圧力比の小さい送風機が排風機として吸込側に用いられる。…
※「ベーン真空ポンプ」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」