世界大百科事典（旧版）内のレーザースクライビングの言及
【レーザー】より
…レーザー溶接はYAGレーザーを用いる微細溶接から，炭酸ガスレーザーを用いる大寸法溶接も行われている。半導体工業への応用としてレーザースクライビング，すなわちICチップの分割作業やレーザートリミングという抵抗素子の微調整にも用いられる。レーザーによる表面処理は金属の焼入れから，半導体アニーリングなど幅広い応用が開けている。…
※「レーザースクライビング」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」