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オプティカルパラレル おぷてぃかるぱられる

世界大百科事典内のオプティカルパラレルの言及

【オプティカルフラット】より

…面の精度はふつう基準面との間に作られるニュートンリングで評価され,平面からの外れの最大値は0.05~0.3μm程度であるが,最近は0.005μm程度の高精度のものも作られている。透明ガラス板の両面が平面かつ平行に作られたものはオプティカルパラレルoptical parallelと呼ばれ,光の干渉による平面度,平行度の測定に用いられる。両面の平行からの外れ,すなわち厚さの最大差は0.2~0.4μm程度である。…

※「オプティカルパラレル」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社日立ソリューションズ・クリエイト世界大百科事典 第2版について | 情報

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