カム形真空ポンプ(読み)かむがたしんくうぽんぷ

世界大百科事典(旧版)内のカム形真空ポンプの言及

【真空ポンプ】より

…このポンプは1段で10-2~10-3Torr程度,2段で10-4Torr台が得られる。カム形真空ポンプはシリンダーの溝におさめられている仕切板がばねとレバーで偏心ローターに押しつけられ,ローターの回転によりカムのように上下運動をし,この作用でローターとシリンダー間の気体が排出される。このポンプは小容量向きで,2段で10-3Torr以下のものが多い。…

※「カム形真空ポンプ」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」

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