世界大百科事典（旧版）内のゲッター・イオンポンプの言及
【真空ポンプ】より
…スチームエゼクター，油拡散ポンプ，水銀拡散ポンプなどがこの型式に入る。最後の物理･化学作用ポンプは，気体分子を物理的または化学的作用により捕集して真空を作るもので，容器中の気体分子をイオン化して電極で集積するイオンポンプをはじめ，ゲッター･イオンポンプ，クライオポンプなどがある。真空ポンプは1基で1atm以下の全領域にわたる真空を作りだす機能はもたず，2基以上のものを組み合わせる必要がある。…
※「ゲッター・イオンポンプ」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」