世界大百科事典（旧版）内のパターン変換差の言及
【集積回路】より
… ウェットエッチングは，一般的には表面に平行な方向と深さ方向のエッチング速度が等しい等方性エッチングである。したがって仕上り寸法は膜厚分だけマスク寸法とずれるわけで，これをパターン変換差という。これに対してドライエッチングでは，表面に平行なエッチングはほとんど進行せず，深さ方向のみエッチングする異方性エッチングが容易である。…
※「パターン変換差」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」