三塩化シラン（読み）さんえんかしらん

世界大百科事典（旧版）内の三塩化シランの言及

【ケイ素(珪素)】より

…その工程は次のとおりである。　工業用ケイ素に300℃で無水の塩化水素を通じて，三塩化シランSiHCl₃をつくる(三塩化シランは沸点31.8℃，融点－127℃で，空気中の水蒸気と激しく反応する)。次いでこの三塩化シランを精留して不純物を除去し，水素還元して多結晶ケイ素を得る。…

※「三塩化シラン」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」