化学的膜形成（読み）かがくてきまくけいせい

世界大百科事典（旧版）内の化学的膜形成の言及

【集積回路】より

…(1)ウェーハー表面に特定の種類の薄膜を形成すること。これには，酸化，化学的膜形成，蒸着，スパッターリングなどの方法がある。(2)特定の種類のガス雰囲気中で高温状態にすること。…

※「化学的膜形成」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」