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化学的膜形成 かがくてきまくけいせい

世界大百科事典内の化学的膜形成の言及

【集積回路】より

…(1)ウェーハー表面に特定の種類の薄膜を形成すること。これには,酸化,化学的膜形成,蒸着,スパッターリングなどの方法がある。(2)特定の種類のガス雰囲気中で高温状態にすること。…

※「化学的膜形成」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社平凡社世界大百科事典 第2版について | 情報

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