化学的膜形成かがくてきまくけいせい

世界大百科事典内の化学的膜形成の言及

…(1)ウェーハー表面に特定の種類の薄膜を形成すること。これには，酸化，化学的膜形成，蒸着，スパッターリングなどの方法がある。(2)特定の種類のガス雰囲気中で高温状態にすること。…

※「化学的膜形成」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社世界大百科事典第２版について | 情報

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