世界大百科事典(旧版)内の揺動ピストン形真空ポンプの言及
【真空ポンプ】より
…このポンプは小容量向きで,2段で10-3Torr以下のものが多い。揺動ピストン形真空ポンプは図3のような構造で,シリンダー内壁をしゅう動しながらシリンダー中心を軸に回転する偏心ローターがあり,ローターの回転でシリンダー内壁とローターにかこまれた容積が変化し,ポンプ作用を行う。この型式は構造的に堅牢にでき,大型に適している。…
※「揺動ピストン形真空ポンプ」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」