選択酸化（読み）せんたくさんか

世界大百科事典（旧版）内の選択酸化の言及

【集積回路】より

…ゲルマニウムGeの時代にはICは出現せず，シリコンの時代になってICが登場したのはSiO₂のこのような性質によるものである。　今日までに開発されてきたICウェーハープロセスの中で，きわめて重要な技術に選択酸化がある。これはウェーハー全面に酸化膜を形成するのではなく，ウェーハー表面の特定領域を選択的に酸化するもので，バイポーラーICのプロセスにも広く用いられている。…

※「選択酸化」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」