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ESCA いーえすしーえー

世界大百科事典内のESCAの言及

【電子顕微鏡】より

…照射系は3段の集束レンズ(コンデンサーレンズ)よりなり,試料面上で2nmの非常に細い電子線束が透過モードで得られ,結像系は6段よりなり,倍率は50倍から100万倍と広範囲に可変でき,分解能は0.14nmである。(2)走査形電子顕微鏡 走査形電子顕微鏡には,普及形走査電子顕微鏡,X線分光器を備えたX線マイクロアナライザー超高分解能像観察用の電界放射形走査電子顕微鏡,また試料のごく表面層のみの分析用にオージエ,ESCAがある。走査形電子顕微鏡の鏡筒上部には電子銃が位置し,その下に電子線の束を細くする集束レンズが,そしてその下に対物レンズがある。…

※「ESCA」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社日立ソリューションズ・クリエイト世界大百科事典 第2版について | 情報

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