ESCA（読み）エスカ

改訂新版　世界大百科事典

ESCA (エスカ)

→電子分光

出典　株式会社平凡社「改訂新版　世界大百科事典」

世界大百科事典（旧版）内のESCAの言及

【電子顕微鏡】より

…照射系は3段の集束レンズ(コンデンサーレンズ)よりなり，試料面上で2nmの非常に細い電子線束が透過モードで得られ，結像系は6段よりなり，倍率は50倍から100万倍と広範囲に可変でき，分解能は0.14nmである。(2)走査形電子顕微鏡　走査形電子顕微鏡には，普及形走査電子顕微鏡，X線分光器を備えたX線マイクロアナライザー超高分解能像観察用の電界放射形走査電子顕微鏡，また試料のごく表面層のみの分析用にオージエ，ESCAがある。走査形電子顕微鏡の鏡筒上部には電子銃が位置し，その下に電子線の束を細くする集束レンズが，そしてその下に対物レンズがある。…

【電子分光】より

…そのうちX線によるものをX線光電子分光X‐ray photoelectron spectroscopy(略称XPS)，紫外線によるものを紫外光電子分光ultraviolet photoelectron spectroscopy(略称UPS)と呼ぶ。XPSは化学分析に用いられることが多いので，ESCA（エスカ）(electron spectroscopy for chemical analysisの略称)と呼ばれることがある。物質に電子をあてるときは，直接電子を放出する場合と間接的な過程(オージェ効果)で電子を放出する場合がある。…

※「ESCA」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」