世界大百科事典内のmolecular beam epitaxyの言及
【エピタキシー】より
… 1970年ころから超高真空中での蒸着や分子線を用いる方法(MBE。molecular beam epitaxyの略)，有機金属化合物を用いる方法，基板上の薄い多結晶や非晶質薄膜を加熱して固相のまま，あるいは一部融解させてエピタキシー成長させる方法の開発も進んでおり，一部実用化されている。三次元デバイスはこのような方法を繰り返し使用し，積層化をはかる。…
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出典｜株式会社日立ソリューションズ・クリエイト世界大百科事典 第２版について | 情報