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molecular beam epitaxy molecularbeamepitaxy

世界大百科事典内のmolecular beam epitaxyの言及

【エピタキシー】より

… 1970年ころから超高真空中での蒸着や分子線を用いる方法(MBE。molecular beam epitaxyの略),有機金属化合物を用いる方法,基板上の薄い多結晶や非晶質薄膜を加熱して固相のまま,あるいは一部融解させてエピタキシー成長させる方法の開発も進んでおり,一部実用化されている。三次元デバイスはこのような方法を繰り返し使用し,積層化をはかる。…

※「molecular beam epitaxy」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

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