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photoresist photoresist

世界大百科事典内のphotoresistの言及

【フォトファブリケーション】より

…蒸着膜のような薄い膜の高精度のパターン形成に適しているため,集積回路の製造工程などマイクロリソグラフィーの分野でよく使われている。
[フォトレジストphotoresist]
 薄い塗膜状にして光エネルギーを与えると化学変化を生じ,ある溶媒に対し不溶性に変化するネガ型と,光エネルギーにより分解し,ある溶媒に対して可溶性に変わるポジ型とがあり,写真原版を通して光を与えることによりパターン形成ができる。残った皮膜は基板の加工に対し耐性をもっていて,基板加工の際その部分を保護する。…

※「photoresist」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

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