フォトレジスト（英語表記）photoresist

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

フォトレジスト
photoresist

感光性耐食被膜のことをいう。金属，半導体などに微細加工を施す際に，写真技術と化学腐食 (エッチング) を用いるフォトエッチングにおいて用いられる。エッチングにより微小部分を取去りたい金属や半導体の表面にフォトレジストを薄膜状に塗布し，これにフォトマスクを当てて紫外線を照射して感光させる。マスクの透明な部分だけ紫外線が透過し，照射された部分は重合が進んで有機溶剤 (現像液) に溶けなくなる。未感光部は溶けるので，フォトマスク上の図形に相当した図形が金属や半導体表面に再現される。紫外線の感光部が現像液に溶ける場合もありこれをポジ型といい，未感光部が溶ける場合をネガ型という。

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