世界大百科事典(旧版)内のvacuumanalyzerの言及
【真空計】より
…得られたデータから成分の組成と分圧とを算出することは,原理的には可能であるが,精度が悪く,ほとんど行われていない。定性的な,あるいは半定量的な分析に使用されるので,真空分析計vacuum analyzer,あるいは残留ガス分析計residual gas analyzer(RGA)と呼ばれることが多い。【中山 勝矢】。…
※「vacuumanalyzer」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」