化学機械研磨（読み）カガクキカイケンマ

デジタル大辞泉「化学機械研磨」の意味・読み・例文・類語

かがくきかい‐けんま〔クワガクキカイ‐〕【化学機械研磨】

⇒シー‐エム‐ピー（CMP）

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