縮小投影露光装置(読み)シュクショウトウエイロコウソウチ

化学辞典 第2版 「縮小投影露光装置」の解説

縮小投影露光装置
シュクショウトウエイロコウソウチ
stepper

[同義異語]ステッパー

出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報