縮小投影露光装置（読み）シュクショウトウエイロコウソウチ

化学辞典 第2版

縮小投影露光装置
シュクショウトウエイロコウソウチ
stepper

[同義異語]ステッパー

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」