ステッパー

デジタル大辞泉

ステッパー（stepper）

シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける半導体露光装置の一。基板をステップ状に移動し、露光する。

出典　小学館

化学辞典 第2版

ステッパー
ステッパー
stepper

縮小投影露光装置ともいう．微細な半導体回路(超LSI)をウェファー上に露光させる装置．光源，原板にあたるレチクル，縮小投影用光学系，ウェファースキャン用ステージと駆動装置からなる．回路線幅の微細化に伴い，光源が水銀ランプからエキシマーレーザーにかわってきた．高圧水銀ランプの波長436 nm(Hg g-line)，365 nm(Hg i-line)で，16 MBit(DRAM)まで対応したが，64 MBit で，KrFエキシマーレーザーからの248 nm，1 Gbit でArFエキシマーレーザーからの193 nm に至った．次世代は F₂ エキシマーレーザーの157 nm．2005年，ArFレーザー使用-位相シフト技術により線幅90 nm に到達した．線幅40～45 nm は，2006年にArFレーザーのままで対物レンズとウェファーの間に液体を充填して屈折率nを1より大きくすることによる液浸露光技術でクリアされた．今後は，ArFレーザー液浸二重露光法で線幅32 nm が実現されると見込まれている．F₂ エキシマーレーザーをとばす動きが強まり，次々世代用に電子線またはX線描画法，プラズマ発光-極端紫外光源(EUV，13.5 nm)などの開発が進められている．ステッパーの製造・開発は高度の技術力を必要とし，わが国のニコン，キヤノンとオランダのASMLの3社が世界のマーケットをほぼ三分している．最終プロダクトの半導体を得る全工程をリソグラフィーという．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」