縮小投映露光装置(読み)シュクショウトウエイロコウソウチ

デジタル大辞泉 「縮小投映露光装置」の意味・読み・例文・類語

しゅくしょうとうえい‐ろこうそうち〔シユクセウトウエイロクワウサウチ〕【縮小投映露光装置】

半導体露光装置

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

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