半導体露光装置（読み）ハンドウタイロコウソウチ

デジタル大辞泉

はんどうたい‐ろこうそうち〔ハンダウタイロクワウサウチ〕【半導体露光装置】

シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける装置。基板をステップ状に移動させるステッパーと、基板とフォトマスクを同時に動かすスキャナーの二方式がある。縮小投映露光装置。

出典　小学館