半導体露光装置（読み）ハンドウタイロコウソウチ

デジタル大辞泉「半導体露光装置」の意味・読み・例文・類語

シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける装置。基板をステップ状に移動させるステッパーと、基板とフォトマスクを同時に動かすスキャナーの二方式がある。縮小投映露光装置。

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