Eビームリソグラフィー（読み）イービームリソグラフィー

デジタル大辞泉 「Eビームリソグラフィー」の意味・読み・例文・類語

イービーム‐リソグラフィー【Eビームリソグラフィー】

⇒電子線リソグラフィー

出典　小学館デジタル大辞泉について　情報 | 凡例

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