コトバンクはYahoo!辞書と技術提携しています。

sputtering sputtering

翻訳|sputtering

世界大百科事典内のsputteringの言及

【集積回路】より

…(3)蒸着 高真空中で,材料となる金属を電子線照射によって加熱し蒸発させ,ウェーハー表面に付着させて金属膜を形成する。(4)スパッタリングsputtering 低圧のアルゴンガス中で放電を起こさせると,中性アルゴン原子は正電荷をもつアルゴンイオンと電子に解離する。イオンは電界によって加速されて陰極に衝突し,その運動エネルギーで陰極から原子をたたき出す。…

【薄膜】より

…蒸発源の周辺を冷却して蒸発した物質による雰囲気の形成を妨げ,シャッターによる蒸発の制御を容易にして薄膜の厚さを10-1nmの桁で制御できるようにしたうえで単結晶薄膜を形成する装置をとくに分子線エピタキシー装置という。 薄膜材料を加熱,蒸発させるかわりに,イオン銃やグロー放電などで発生させた高速イオンを薄膜材料に照射し,イオン衝突で蒸発させる方法をスパッタリングsputteringといい,この場合の蒸発源に相当する部分をターゲットと呼ぶ。101~10-1Pa程度の不活性ガス(おもにAr)中での直流2極グロー放電で,陰極の物質はスパッタリングにより周辺の壁に付着するので,陰極周辺に適当におかれた基板上には薄膜が形成される。…

※「sputtering」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社日立ソリューションズ・クリエイト
All Rights Reserved. Copyright (C) 2015, Hitachi Solutions Create,Ltd. 収録データは1998年10月に編集製作されたものです。それぞれの用語は執筆時点での最新のもので、常に最新の内容であることを保証するものではありません。また、本文中の図・表・イラストはご提供しておりません。

今日のキーワード

トランスアジア航空

台湾・台北市に本拠を置く航空会社。中国語名は復興航空。1951年、台湾初の民間航空会社として設立。83年に台湾の国産実業グループに経営移管され、組織改編を実施した。92年に国際チャーター便の運航を始め...

続きを読む

コトバンク for iPhone

sputteringの関連情報