ゲッターイオンポンプ（読み）げったーいおんぽんぷ

化学辞典 第2版

ゲッターイオンポンプ
ゲッターイオンポンプ
getter ion pump

ゲッターポンプは不活性気体に対しては排気能力がないので，不活性気体にも排気能力をもたすためには，不活性気体をイオン化する必要がある．このイオン化現象を加えたゲッターポンプを，ゲッターイオンポンプという．この種のなかで現在よく使用されているポンプに，オービトロンポンプ，静電型ゲッターイオンポンプおよびスパッターイオンポンプがある．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」

世界大百科事典（旧版）内のゲッターイオンポンプの言及

【真空ポンプ】より

…スチームエゼクター，油拡散ポンプ，水銀拡散ポンプなどがこの型式に入る。最後の物理･化学作用ポンプは，気体分子を物理的または化学的作用により捕集して真空を作るもので，容器中の気体分子をイオン化して電極で集積するイオンポンプをはじめ，ゲッター･イオンポンプ，クライオポンプなどがある。真空ポンプは1基で1atm以下の全領域にわたる真空を作りだす機能はもたず，2基以上のものを組み合わせる必要がある。…

※「ゲッターイオンポンプ」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」