ゲッターポンプ

デジタル大辞泉 「ゲッターポンプ」の意味・読み・例文・類語

ゲッター‐ポンプ(getter pump)

真空装置中から不活性な気体を取り除くために、ゲッターとしてはたらく金属で気体をイオン化して吸着・排除するポンプ

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

化学辞典 第2版 「ゲッターポンプ」の解説

ゲッターポンプ
ゲッターポンプ
getter pump

多量の活性金属蒸着膜をつくり,それに気体を吸着させることでポンプ作用をするものをいう.現象的にはこのほかにゲッターイオンポンプ,スパッターイオンポンプ,ソープションポンプクライオポンプもゲッターポンプの一種である.ゲッターポンプの材料としてはチタンがもっとも多く使われている.チタンの蒸着膜を液体窒素で冷却すると,排気速度到達圧力の改善に有効である.ゲッターポンプの排気機構は,金属膜と活性気体間の化学吸着であるので,不活性気体に対しては排気能力がない.

出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典 「ゲッターポンプ」の意味・わかりやすい解説

ゲッターポンプ

「イオンポンプ」のページをご覧ください。

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