メチルシラン

化学辞典 第2版

メチルシラン
メチルシラン
methylsilane

CH₆Si(46.14)．CH₃SiH₃．シランSiH₄のH原子が1個メチル基に置き換えられたもの．トリクロロ(メチル)シランCH₃SiCl₃を水素化アルミニウムリチウムで還元すると得られる．気体．沸点－57.5 ℃，凝固点－156.81 ℃．0.6277．常温でハロゲン化水素HXと反応してCH₃SiH₂Xを生じる．半導体製造のプロセスで用いられる．[CAS 992-94-9]

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」