エキシマーレーザー（英語表記）excimer laser

大辞林 第三版

エキシマーが解離して基底状態へ遷移するときの発光を利用するレーザー。超微細加工などに利用される。

出典　三省堂

化学辞典 第2版

希ガス原子どうし，希ガス原子とハロゲン原子，水銀とハロゲンなどの励起二量体，まれには三量体の電子遷移によるレーザー．希ガス原子どうしでは数十気圧，希ガスとハロゲンでは1～数気圧で放電させて発生させる．Ar₂(126 nm)，Kr₂(146 nm)，F₂(157 nm)，Xe₂(172 nm)，ArF(192 nm)，KrF(248 nm)，XeCl(308 nm)などがしばしば紫外光源として利用されている．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」