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エキシマーレーザー excimer laser

翻訳|excimer laser

大辞林 第三版の解説

エキシマーレーザー【excimer laser】

エキシマーが解離して基底状態へ遷移するときの発光を利用するレーザー。超微細加工などに利用される。

出典 三省堂大辞林 第三版について 情報

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