エキシマーレーザー(英語表記)excimer laser

翻訳|excimer laser

大辞林 第三版の解説

エキシマーが解離して基底状態へ遷移するときの発光を利用するレーザー。超微細加工などに利用される。

出典 三省堂大辞林 第三版について 情報

化学辞典 第2版の解説

希ガス原子どうし,希ガス原子とハロゲン原子,水銀とハロゲンなどの励起二量体,まれには三量体の電子遷移によるレーザー.希ガス原子どうしでは数十気圧,希ガスとハロゲンでは1~数気圧で放電させて発生させる.Ar2(126 nm),Kr2(146 nm),F2(157 nm),Xe2(172 nm),ArF(192 nm),KrF(248 nm),XeCl(308 nm)などがしばしば紫外光源として利用されている.

出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報

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