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タンタル薄膜混成集積回路 タンタルはくまくこんせいしゅうせきかいろtantarum thin film hybrid integrated circuit

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

タンタル薄膜混成集積回路
タンタルはくまくこんせいしゅうせきかいろ
tantarum thin film hybrid integrated circuit

薄膜回路部分にタンタル Ta 系の薄膜を使用した混成集積回路。抵抗材料にはタンタル薄膜あるいは窒化タンタル Ta2N 薄膜が用いられ,コンデンサ用誘電体材料にはタンタル表面を酸化して得られる Ta2O5 が用いられる。これらは精度よく製作できるうえに耐湿性がきわめてよく,そのため信頼度の高いものとされており,通信回路などに多く利用されている。

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