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タンタル薄膜混成集積回路 タンタルはくまくこんせいしゅうせきかいろ tantarum thin film hybrid integrated circuit

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

タンタル薄膜混成集積回路
タンタルはくまくこんせいしゅうせきかいろ
tantarum thin film hybrid integrated circuit

薄膜回路部分にタンタル Ta 系の薄膜を使用した混成集積回路抵抗材料にはタンタル薄膜あるいは窒化タンタル Ta2N 薄膜が用いられ,コンデンサ用誘電体材料にはタンタル表面を酸化して得られる Ta2O5 が用いられる。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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