微小電子機械システム（読み）ビショウデンシキカイシステム

デジタル大辞泉 「微小電子機械システム」の意味・読み・例文・類語

びしょうでんし‐きかいシステム〔ビセウデンシ‐〕【微小電子機械システム】

⇒メムス（MEMS）

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