MEMS（読み）メムス

デジタル大辞泉

メムス【MEMS】［micro electro mechanical systems］

《micro electro mechanical systems》半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、モーターや駆動系などの機構を組み込んだ超小型の機械システム。微小電気機械システム。微小電子機械システム。→マイクロマシン →MEMSディスプレー

出典　小学館

日本大百科全書(ニッポニカ)

MEMS
めむす

シリコンなどの電子基板上に、極小のばねや振り子などの機械素子のほか、鏡などの光素子を搭載した複合部品。英語のMicro Electro Mechanical Systemsの略称。電子、機械、光技術などの特性を組み合わせた、いわばハイブリッド部品で、微小電子機械システムともよばれる。電子素子の機能を高度にできるうえ、小型化、低コスト化、省電力化できる特徴がある。自動車、医療機器、防災施設、ロボットなど多様な機器に採用され、携帯機器「iPhone(アイフォーン)」やゲーム機「Wii(ウィー)」「PS3（プレイステーション3）」にMEMSの加速度センサーが搭載されたこともあって、市場規模は年平均10％前後の成長を続けている。従来型電子部品でアジア諸国にシェアを奪われた日本の半導体メーカーは、巻き返しをはかる新技術として開発を競っている。

　1980年代に、基板上のばねのたわみなどで速度の変化を測る加速度センサーとして実用化され、自動車のエアバックなどに採用された。傾きを測るジャイロセンサー、流量センサー、圧力センサーなどの部品としても実用化されている。基板上に鏡を並べて高画質表示ができるDMD（デジタル・マイクロミラー・デバイス）やインクジェットのプリンタヘッド部分の微小ノズルなどのMEMSも次々に商品化され、部品レベルではナノ（10億分の1）メートルの微細な三次元加工も可能となっている。

［編集部］

[参照項目] | ジャイロセンサー

出典　小学館　日本大百科全書(ニッポニカ)

知恵蔵

MEMS

シリコンやプラスチックを微細加工技術で加工することによって作られ、電気的に駆動される小さな機械。「メムス」と発音される。0.1mm径のモーターや10μm(マイクロメートル)の電気的に動く小さなピンセット、無線用途に使われる小さなコイルなど多くの応用が研究されている。実用化されているものでは、加速度センサーがある。また、100万個以上の小さな鏡を1cm角程度のシリコンチップに作り込み、鏡の角度を電気的に変化させることによって所望の映像を映し出すDMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス)はプロジェクター用に実用化されている。

(荒川泰彦 東京大学教授 ／ 桜井貴康 東京大学教授 ／ 2007年)

出典　(株)朝日新聞出版発行「知恵蔵」