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微小電子機械システム ビショウデンシキカイシステム

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デジタル大辞泉の解説

びしょうでんし‐きかいシステム〔ビセウデンシ‐〕【微小電子機械システム】

メムス(MEMS)

出典|小学館 この辞書の凡例を見る
監修:松村明
編集委員:池上秋彦、金田弘、杉崎一雄、鈴木丹士郎、中嶋尚、林巨樹、飛田良文
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