微小電気機械システム(読み)ビショウデンキキカイシステム

デジタル大辞泉 「微小電気機械システム」の意味・読み・例文・類語

びしょうでんき‐きかいシステム〔ビセウデンキ‐〕【微小電気機械システム】

メムス(MEMS)

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