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微小電気機械システム ビショウデンキキカイシステム

デジタル大辞泉の解説

びしょうでんき‐きかいシステム〔ビセウデンキ‐〕【微小電気機械システム】

メムス(MEMS)

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

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