エキシマーレーザー

化学辞典 第2版

エキシマーレーザー
エキシマーレーザー
excimer laser

希ガス原子どうし，希ガス原子とハロゲン原子，水銀とハロゲンなどの励起二量体，まれには三量体の電子遷移によるレーザー．希ガス原子どうしでは数十気圧，希ガスとハロゲンでは1～数気圧で放電させて発生させる．Ar₂(126 nm)，Kr₂(146 nm)，F₂(157 nm)，Xe₂(172 nm)，ArF(192 nm)，KrF(248 nm)，XeCl(308 nm)などがしばしば紫外光源として利用されている．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」