デジタル大辞泉 「マイクロ流路」の意味・読み・例文・類語 マイクロ‐りゅうろ〔‐リウロ〕【マイクロ流路】 数マイクロメートル程度の幅の流路。半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、ガラス基板などに微小な流路を作成する。マイクロ流体デバイスに利用される。 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例
