マイクロ流路（読み）マイクロリュウロ

デジタル大辞泉「マイクロ流路」の意味・読み・例文・類語

数マイクロメートル程度の幅の流路。半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、ガラス基板などに微小な流路を作成する。マイクロ流体デバイスに利用される。

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