ウエットエッチング(英語表記)wet etching

デジタル大辞泉 「ウエットエッチング」の意味・読み・例文・類語

ウエット‐エッチング(wet etching)

半導体集積回路などの微細回路を作製する際、溶液中に回路基板を浸し、不必要な部分腐食・分解して取り去ること。湿式エッチング。→エッチング3

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例