陰極スパッター(読み)インキョクスパッター

化学辞典 第2版 「陰極スパッター」の解説

陰極スパッター
インキョクスパッター
cathode sputtering

単にスパッターともいい,カソードスパッタリングともいう.低圧気体中の2極間でグロー放電を起こさせると,陰極から陰極物質が飛び出し,付近の陽極および容器壁に陰極物質の薄膜をつくる現象をいう.この現象は,加速された気体イオンが陰極に衝突した際に陰極物質がたたき出されることにより起こる.

出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報

中国のゴビ砂漠などの砂がジェット気流に乗って日本へ飛来したとみられる黄色の砂。西日本に多く,九州西岸では年間 10日ぐらい,東岸では2日ぐらい降る。大陸砂漠の砂嵐の盛んな春に多いが,まれに冬にも起る。...

黄砂の用語解説を読む