陰極スパッター（読み）インキョクスパッター

化学辞典 第2版

陰極スパッター
インキョクスパッター
cathode sputtering

単にスパッターともいい，カソードスパッタリングともいう．低圧気体中の2極間でグロー放電を起こさせると，陰極から陰極物質が飛び出し，付近の陽極および容器壁に陰極物質の薄膜をつくる現象をいう．この現象は，加速された気体イオンが陰極に衝突した際に陰極物質がたたき出されることにより起こる．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」