電子線レジスト（読み）デンシセンレジスト

デジタル大辞泉「電子線レジスト」の意味・読み・例文・類語

電子線リソグラフィーに用いられるレジスト。走査型電子顕微鏡の技術を応用し、主にシリコンウエハー上にパターンを焼き込むフォトマスクの作製に使用する。

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