電子線レジスト(読み)デンシセンレジスト

デジタル大辞泉 「電子線レジスト」の意味・読み・例文・類語

でんしせん‐レジスト【電子線レジスト】

電子線リソグラフィーに用いられるレジスト走査型電子顕微鏡技術を応用し、主にシリコンウエハー上にパターンを焼き込むフォトマスク作製に使用する。

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

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