デジタル大辞泉 「電子線レジスト」の意味・読み・例文・類語 でんしせん‐レジスト【電子線レジスト】 電子線リソグラフィーに用いられるレジスト。走査型電子顕微鏡の技術を応用し、主にシリコンウエハー上にパターンを焼き込むフォトマスクの作製に使用する。 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例 Sponserd by
