SEM(セム)ともいう.表面構造や表面の形状を観測するのに適した電子顕微鏡.2段または数段の集光レンズで約10 nm に絞られた電子線を,走査コイルにより試料表面をx,y方向に走査し,表面から放出される二次電子や反射電子を蛍光面に導き,発光の強さを増幅して,ブラウン管(CRT)上に映し出す.試料上の電子線の位置とCRT上の輝点の位置が正確に対応し,数十倍から数万倍の拡大像が得られる.二次電子測定では,傾斜した表面やエッジでは,傾斜角効果,エッジ効果により,放出される二次電子が増加するので,試料表面の凹凸を立体感のある像として得ることができる.透過型電子顕微鏡(TEM)は試料を数百 nm 以下の薄い薄膜にして観測するが,SEMは金属,鉱物,半導体など電気伝導性がよいものでは,そのまま試料として用いることができる.生物試料など電気伝導性が悪いものは表面に金属をコーティングするか,電子線の加速電圧を低くして,試料上の帯電を防止して測定する.
出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報
出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報
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