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走査型電子顕微鏡 そうさがたでんしけんびきょうscanning electron microscope

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

走査型電子顕微鏡
そうさがたでんしけんびきょう
scanning electron microscope

高真空装置内で,きわめて細く絞った電子ビーム試料表面を走査し,試料からの二次反射あるいは透過電子線の強弱を,走査電子ビームと同期に走査している観察用ブラウン管のケイ光の強弱に変換して観察する顕微鏡。通常,ブラウン管面上に形成される1画面を写真に記録して観察する。反射や透過ビームのほか,各種の像形成現象が利用でき,試料面を直接観察できるので,レプリカ法 (試料表面を薄膜に転写して観察する方法) を必ずしも行う必要がない。普通の透過型電子顕微鏡に比べてきわめて大きな被写界深度をもつが,倍率はやや小さく分解能もやや劣る。

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デジタル大辞泉の解説

そうさがたでんし‐けんびきょう〔‐ケンビキヤウ〕【走査型電子顕微鏡】

電子顕微鏡の一。試料を電子線で走査し、試料から出る二次電子などを検出することで試料表面の観察を行う。光学顕微鏡に比べ、表面の立体構造の観察に適している。細胞のような生体試料の場合は、あらかじめ金や白金パラジウムなどを蒸着する必要がある。SEM(セム)(scanning electron microscope)。

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大辞林 第三版の解説

そうさがたでんしけんびきょう【走査型電子顕微鏡】

試料に電子ビームを当て、表面から放出された二次電子をとらえてブラウン管上に表示する電子顕微鏡。走査電子顕微鏡。SEM(セム)。

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