走査型電子顕微鏡(読み)ソウサガタデンシケンビキョウ

化学辞典 第2版「走査型電子顕微鏡」の解説

走査型電子顕微鏡
ソウサガタデンシケンビキョウ
scanning electron microscope

SEM(セム)ともいう.表面構造や表面の形状を観測するのに適した電子顕微鏡.2段または数段の集光レンズで約10 nm に絞られた電子線を,走査コイルにより試料表面をxy方向に走査し,表面から放出される二次電子反射電子を蛍光面に導き,発光の強さを増幅して,ブラウン管(CRT)上に映し出す.試料上の電子線の位置とCRT上の輝点の位置が正確に対応し,数十倍から数万倍の拡大像が得られる.二次電子測定では,傾斜した表面やエッジでは,傾斜角効果,エッジ効果により,放出される二次電子が増加するので,試料表面の凹凸を立体感のある像として得ることができる.透過型電子顕微鏡(TEM)は試料を数百 nm 以下の薄い薄膜にして観測するが,SEMは金属,鉱物半導体など電気伝導性がよいものでは,そのまま試料として用いることができる.生物試料など電気伝導性が悪いものは表面に金属をコーティングするか,電子線の加速電圧を低くして,試料上の帯電を防止して測定する.

出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典「走査型電子顕微鏡」の解説

走査型電子顕微鏡
そうさがたでんしけんびきょう
scanning electron microscope

高真空装置内で,きわめて細く絞った電子ビームで試料表面を走査し,試料からの二次反射あるいは透過電子線の強弱を,走査電子ビームと同期に走査している観察用ブラウン管のケイ光の強弱に変換して観察する顕微鏡。通常,ブラウン管面上に形成される1画面を写真に記録して観察する。反射や透過ビームのほか,各種の像形成現象が利用でき,試料面を直接観察できるので,レプリカ法 (試料表面を薄膜に転写して観察する方法) を必ずしも行う必要がない。普通の透過型電子顕微鏡に比べてきわめて大きな被写界深度をもつが,倍率はやや小さく分解能もやや劣る。

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デジタル大辞泉「走査型電子顕微鏡」の解説

そうさがたでんし‐けんびきょう〔‐ケンビキヤウ〕【走査型電子顕微鏡】

電子顕微鏡の一。試料を電子線で走査し、試料から出る二次電子などを検出することで試料表面の観察を行う。光学顕微鏡に比べ、表面の立体構造の観察に適している。細胞のような生体試料の場合は、あらかじめ金や白金パラジウムなどを蒸着する必要がある。SEMセム(scanning electron microscope)。

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

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