赤外線顕微鏡（読み）セキガイセンケンビキョウ

デジタル大辞泉

せきがいせん‐けんびきょう〔セキグワイセンケンビキヤウ〕【赤外線顕微鏡】

可視光線の代わりに赤外線を利用した顕微鏡。光学顕微鏡の一。ICなどの半導体回路を非接触、非破壊で内部を観察できる。赤外顕微鏡。

出典　小学館