ウエットエッチング（その他表記）wet etching

デジタル大辞泉

ウエット‐エッチング（wet etching）

半導体集積回路などの微細回路を作製する際、溶液中に回路基板を浸し、不必要な部分を腐食・分解して取り去ること。湿式エッチング。→エッチング3

出典　小学館

世界大百科事典（旧版）内のウエットエッチングの言及

【集積回路】より

…(7)エッチング　本来は金属表面を化学薬品で腐食させることであるが，ICでは，パターン転写後に薄膜の不要部分を除去することおよびあるプロセスで使用した薄膜をその後の工程のために全面的に除去することをいう。従来はもっぱら液体の薬品(フッ酸，塩酸，硝酸，硫酸など)を使用するウェットエッチングであったが，最近はガス(CF₄など)放電による活性基でエッチングするドライエッチングが多く用いられている。　フォトエッチングと呼ばれるプロセスは，露光，現像によってパターン形成したフォトレジストをマスクとしてその下地をエッチングする方法である。…

※「ウエットエッチング」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」