エッチング（読み）えっちんぐ

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

エッチング
etching

銅版画の一技法。銅板に直接刻みつけるエングレービング，ドライポイントなどと異なり，腐食液を利用して製版する腐食凹版技法。まず磨いた銅板の版面に，腐食を防ぐグラウンド (アスファルト，蜜ろう，樹脂など) を薄く均一に塗る。その上から針を用いて銅板が露出する程度の強さで線描する。描き終ったのち，銅板の裏面および側面の腐食を防ぐ止めニスを塗り，硝酸 (塩酸，塩化第二鉄) 液に浸して描線の部分を腐食させる。この腐食によってできた線にインキを詰め，エッチング・プレスを使って刷る。この通常のエッチング技法のほか，次の3つのエッチング技法がある。 (1) ディープ・エッチング　これは直接銅板に防食液などで描き，他の部分を腐食し，描いた部分が凸部となるように製版する。そして凸部にインキを載せて刷る。したがってこれは凸版技法であり，リリーフ・エッチング，ティポなどともいわれている。 (2) ソフト・グラウンド・エッチング　獣脂を混ぜてつくったソフト・グラウンドを版面に塗り，その上に薄紙を載せて鉄筆，鉛筆などで描く。紙をはがすと描いた部分のグラウンドも紙についてはがれ，その部分が腐食される。 (3) リフト・グラウンド・エッチング　砂糖溶液，墨汁，アラビアゴムなどの混合液で版面に直接描く。その上からグラウンドを全面に塗る。これをぬるま湯に浸すと描かれた部分のグラウンドが持上げられ，版面からはがされる。これを腐食液に浸せば，グラウンドがリフトされ，はがされた部分が腐食される。この方法は，砂糖を用いるため，シュガー・アクアチントとも呼ばれる。

エッチング[半導体]
エッチング[はんどうたい]
etching

レジストにつくったパターンのとおりに，その下の薄膜あるいは基板を加工する技術。「蝕刻」と訳し，レジストで覆われていない部分を溶かして除去する。 LSIの製造工程で，ウェハーにレジスト溶液を塗り，ガラス・マスクに描かれた ICパターンを光で転写，パターン以外の不要部分のレジスト溶液を除去する。エッチングは，残ったレジスト以外の部分を溶かすが，高温ガスやプラズマ，反応性イオンを用いるドライ・エッチングと，溶液中に半導体基板を浸すウエット・エッチングがある。加工の微細化が進むにつれてドライが主流になっている。

出典　ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

日本大百科全書(ニッポニカ)

エッチング
えっちんぐ

→銅版画

出典　小学館　日本大百科全書(ニッポニカ)