出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報
…しかし,技術的,経済的などの現実的条件から無制限に厚い膜をつくることは困難で,現在,薄膜としてつくられているものの厚さの上限は10μmの桁である(ただし,この上限はしだいに大きくなる傾向にある)。
[製法]
薄膜の形成は,大部分は固体表面(これを一般に基板という)への気相の凝縮による。この気相は常温で気体のものを用いるときもあり,また固体,液体のものを気化してつくることもある。…
※「基板」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
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