多孔質シリコン（読み）タコウシツシリコン

デジタル大辞泉

たこうしつ‐シリコン【多孔質シリコン】

電気化学的な処理でシリコンウエハーの表面に多数の細孔を形成したもの。光ルミネセンスにより赤色光、青色光を発することが知られる。ポーラスシリコン。

出典　小学館