デジタル大辞泉 「液浸露光」の意味・読み・例文・類語 えきしん‐ろこう〔‐ロクワウ〕【液浸露光】 ステッパーやスキャナーなどの半導体露光装置で、レンズとシリコンウエハーの間を超純水で満たし、高い解像度で集積回路のパターンを焼き付ける技術。従来、光学顕微鏡で用いられていた液浸法を適用したもので、数十ナノメートル以下の製造プロセスが可能になった。 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例 Sponserd by
