液浸露光(読み)エキシンロコウ

デジタル大辞泉 「液浸露光」の意味・読み・例文・類語

えきしん‐ろこう〔‐ロクワウ〕【液浸露光】

ステッパースキャナーなどの半導体露光装置で、レンズシリコンウエハーの間を超純水で満たし、高い解像度で集積回路パターンを焼き付ける技術従来光学顕微鏡で用いられていた液浸法を適用したもので、数十ナノメートル以下の製造プロセスが可能になった。

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

ユーラシア大陸、北アメリカ大陸北部に広く分布し、日本では北海道にエゾヒグマが生息する。成獣は体長2メートル以上、体重300キロにもなり、日本最大の陸生動物として知られる。雑食性で草や木の実、サケ、シ...

ヒグマの用語解説を読む