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赤外線顕微鏡 セキガイセンケンビキョウ

デジタル大辞泉の解説

せきがいせん‐けんびきょう〔セキグワイセンケンビキヤウ〕【赤外線顕微鏡】

可視光線の代わりに赤外線を利用した顕微鏡光学顕微鏡の一。ICなどの半導体回路を非接触、非破壊で内部を観察できる。赤外顕微鏡

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