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赤外線顕微鏡 セキガイセンケンビキョウ

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デジタル大辞泉の解説

せきがいせん‐けんびきょう〔セキグワイセンケンビキヤウ〕【赤外線顕微鏡】

可視光線の代わりに赤外線を利用した顕微鏡光学顕微鏡の一。ICなどの半導体回路を非接触、非破壊で内部を観察できる。赤外顕微鏡

出典|小学館 この辞書の凡例を見る
監修:松村明
編集委員:池上秋彦、金田弘、杉崎一雄、鈴木丹士郎、中嶋尚、林巨樹、飛田良文
編集協力:曽根脩
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