赤外線顕微鏡（読み）セキガイセンケンビキョウ

デジタル大辞泉「赤外線顕微鏡」の意味・読み・例文・類語

可視光線の代わりに赤外線を利用した顕微鏡。光学顕微鏡の一。ICなどの半導体回路を非接触、非破壊で内部を観察できる。赤外顕微鏡。

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