ITO（薄膜）（読み）あいてぃーおー

世界大百科事典（旧版）内のITO（薄膜）の言及

【薄膜】より

…古くからある応用には，レンズの反射防止膜，干渉フィルター，コールドミラーなど光の干渉効果を利用した薄膜があり，これには，MgF₂,TiO₂,ZrO₂などの真空蒸着膜，イオンプレーティング膜が使われる。われわれが日常，時計や電卓などで目にする液晶表示装置には透明伝導性電極が用いられているが，これは現在，ほとんどがITO(indium tin oxideの略)と呼ばれるIn₂O₃を主成分としてそれにSnO₂が添加された物質の薄膜であり，真空蒸着，スパッタリング，イオンプレーティングなどでつくられる。　薄膜技術が材料技術として注目されるようになったのは，TiC,TiNなど一連の硬化膜が生産されるようになったからで，とくにTiCは硬さが大きく機械工具のコーティングとしてよく知られている。…

※「ITO（薄膜）」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」