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photo-electroforming photoelectroforming

世界大百科事典内のphoto-electroformingの言及

【フォトファブリケーション】より

…エッチングの方法としては化学エッチング法と電解エッチング法があるが,そのほかにプラズマガス中で行われる乾式エッチング法も超微細加工に用いられている。
[フォトエレクトロフォーミングphoto‐electroforming]
 フォトレジストパターンの作成まではフォトエッチングと類似しているが,フォトエレクトロフォーミングの場合,基板としては導電性の平滑な基板であれば何でもよい。一般には銅板やガラスに導電性金属を蒸着したものが用いられている。…

※「photo-electroforming」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社日立ソリューションズ・クリエイト
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