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フォトファブリケーション photofabrication

大辞林 第三版の解説

フォトファブリケーション【photofabrication】

写真技法を用いて集積回路などを製作する精密加工技術の総称。

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世界大百科事典 第2版の解説

フォトファブリケーション【photo‐fabrication】

写真的技法を用いた精密加工技術の総称。印刷の写真製版技法として古くから利用されていたが,1960年ころ,カラーテレビジョンに用いるシャドーマスクやメサ型トランジスター用のマスクなどの製造に利用されるようになってから新しい加工技術として注目を集めるようになった。現在ではとくにエレクトロニクスの分野では欠かすことのできない技術となり,各分野で広範囲に利用されている。 工程としては基板上に感光性をもつフォトレジスト層を設け,写真原版よりパターンを露光,必要部分を残して溶解除去し,エッチングまたはめっき方法により微細加工する(前者をフォトエッチング,後者をフォトエレクトロフォーミングという)。

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